▲강연을 진행하는 이창석 대표
▲‘반도체 장비 동향 및 공정 모니터링 원리’ 세미나 현장
공동기기원, 금속유기화합물 첨단소재응용 핵심연구지원센터가 지난 4월 4일 광개토관 109호에서 ‘반도체 장비 동향 및 공정 모니터링 원리’ 세미나를 진행했다.
이번 세미나는 반도체 장비에 관심 있는 학생과 연구원을 대상으로 반도체 공정의 핵심 기술과 그 원리를 소개하고자 마련됐다.
세미나는 코리아스펙트랄프로덕츠 박근오 부사장과 이창석 대표의 강연으로 진행됐다. 두 강연자는 반도체 산업의 미래 전망과 공정 원리 등 다양한 주제를 데이터와 연구 결과를 바탕으로 설명했다.
박근오 부사장은 ‘반도체 최신 기술동향과 핵심 기술·장비·공정 소개’를 주제로 강연을 진행했다. 박 부사장은 반도체의 글로벌 산업화가 앞으로 더욱 심화될 것이라 전망하며, 관련 지식만큼이나 어학 능력도 중요하다고 강조했다.
이창석 대표는 ‘플라즈마 분광학과 분광기를 이용한 광 진단의 원리’에 대해 설명했다. 이 대표는 플라즈마 분광학의 원리를 바탕으로 빛의 파장에 따라 구조가 달라지는 분광 시스템을 이용한 공정 진단 기법을 소개했다.
이 대표는 “이 강연을 통해 플라즈마 분광학을 완전히 이해하긴 어렵겠지만, 학생들이 분광학에 조금 더 친숙해지고 지식을 얻어가는 기회가 되었기를 바란다”고 말했다.
세미나에 참여한 배민건(반도체시스템공학과·20) 학생은 “원리와 이론 중심의 수업이 아닌, 실제 연구와 분석 결과를 기반으로 한 설명이 흥미로웠다. 그 분석 결과를 적용한 분광 시스템을 접하는 인상적인 시간이었다”고 말했다.
취재/ 김병찬 홍보기자(byeongchan1017@naver.com)